责任者: 李惠军
出版信息: 山东大学出版社 ,2007
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现代集成电路制造工艺原理
李惠军.山东大学出版社,2007.
责任者: 阮刚
出版信息: 复旦大学出版社 ,2007
集成电路工艺和器件的计算机模拟:IC TCAD技术概论
阮刚.复旦大学出版社,2007.
责任者: 戴猷元,张瑾
出版信息: 化学工业出版社 ,2007
集成电路工艺中的化学品
戴猷元,张瑾.化学工业出版社,2007.
责任者: 陈有卿
出版信息: 少年儿童出版社 ,1990.3
少年集成电路制作精选
陈有卿.少年儿童出版社,1990.3.
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