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ISBN:
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978-7-5025-9934-8 价格： CNY28.00 |
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语种:
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chi |
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题名:
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集成电路工艺中的化学品 ji cheng dian lu gong yi zhong de hua xue pin / 戴猷元，张瑾编 , |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2007 |
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载体形态:
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188页 24cm |
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摘要:
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本书系统提供了集成电路制造过程中用到的化学品的使用性能、毒性及安全等方面的信息。内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品等。 |
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主题:
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化工产品 应用 |
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中图分类:
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TN405 版次： 4 |
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主要责任者:
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戴猷元 dai you yuan 编 |
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主要责任者:
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张瑾 zhang jin 编 |