题名:
MEMS/MOEMS封装技术   / (美)吉列奥,中国电子学会电子封装专委会,电子封装技术丛书编辑委员会著 ,
ISBN:
978-7-122-01518-1 价格: CNY48.00
语种:
载体形态:
236页 大16开
出版发行:
出版地: 出版社: 化学工业出版社 出版日期: 2008.01
内容提要:
本书主要介绍了MEMS/MOEMS封装技术的最新进展,以及工艺的共性、个性和可靠性。针对高成本的封装,本书也给出了全面的解决方案,内容全面、系统、新颖。 
主题词:
微电子技术  
主题词:
集成电路  
中图分类法:
TN405.94 版次: 4
主要责任者:
吉列奥
版次:
1
主要团体责任者:
中国电子学会电子封装专委会
主要团体责任者:
电子封装技术丛书编辑委员会